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全自动晶圆去膜机
产品型号：NDW280R
（应用于晶圆背胶、包覆、光刻、化学保护、二次减薄等工艺）产品详情
| • 4" - 8"晶圆适用 | • 可选嵌入式紫外线照射模块 |
| • 可处理薄晶圆 | • 适应多种胶膜撕除 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 无需任何耗材 |
| • 智能测细篮内晶圆 | • 工控机+Windows系统 |
| • 专利的机械手去摸技术 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
安全知识
| • 4" - 8"晶圆适用 | • 可选嵌入式紫外线照射模块 |
| • 可处理薄晶圆 | • 适应多种胶膜撕除 |
| • 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 无需任何耗材 |
| • 智能测细篮内晶圆 | • 工控机+Windows系统 |
| • 专利的机械手去摸技术 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
