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全自动晶圆切割贴膜减薄撕膜一体机

产品型号:NMW200 / NMW300

(应用于晶圆切割工艺)
产品详情
4” ~ 8” /8" ~ 12”晶圆适用 先进的防静电滚轮贴膜
全自动切割膜贴膜 专利的机械手撕膜技术
全自动减薄膜撕膜 可选嵌入式紫外线照射模块
超薄晶圆处理能力 蓝膜、UV膜、预切割膜适用
兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 工控机+Windows系统
智能测绘料篮内晶圆 与减薄抛光机联机能力
晶圆非接触对位 SECS/GEM或简易联网能力
安全知识
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