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半自动紫外线照射机
产品型号：UV29TE
（应用于 UV膜解胶工艺）产品详情
| • 6” ~ 8”/8”~12”支撑环适用 | • 可嵌入式紫外线能量传感器 |
| • 手动晶圆装卸料 | • 高强度紫外线能量输出 |
| • 365纳米波长紫外LED颗粒阵列 | • 长寿命LED颗粒< |
| • 照射时间可控 | • 基于PLC的程序控制 |
安全知识
| • 6” ~ 8”/8”~12”支撑环适用 | • 可嵌入式紫外线能量传感器 |
| • 手动晶圆装卸料 | • 高强度紫外线能量输出 |
| • 365纳米波长紫外LED颗粒阵列 | • 长寿命LED颗粒< |
| • 照射时间可控 | • 基于PLC的程序控制 |
